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氢氟酸腐蚀硅芯是怎样的原理

来源:http://www.fgsm888.com/news717011.html发布时间:2018/3/9 0:00:00

今天为大家简单的介绍油罐氢氟酸腐蚀硅芯的原理相关内容,也希望对大家会有所帮助。

由于氢氟酸能将硅芯及横梁表面的二氧化硅和硅溶解生成氯化硅,但单纯的氢氟酸对硅棒的腐蚀作用极慢,又由于浓硝酸能将硅氧化膜(sio2),但氧化膜是难溶物质,既不溶于水,也不溶于硝酸,因此单纯的硝酸也不能得到对硅芯及横梁表面进行腐蚀清洗的目的。


然而,在氢氟酸和浓硝酸的混合腐蚀液中,首先氢氟酸将硅芯及横梁表面的二氧化硅溶解,然后硝酸使硅芯及横梁表面单质硅氧化为二氧化硅,之后氢氟酸又将硝酸氧化产生的这层氧化膜溶解掉,两种酸如此交替作用从而使硅芯及横梁表面剥落掉一层,即可实现清洁硅芯及横梁的目的,通常我们是将硅芯及横梁在硝酸和氢氟酸的体积比为51的浓硝酸和氢氟酸混合液中进行腐蚀清洗。其化学反应式如下:Si+6HF(浓)+4HNO3(浓)=H2SiF6+4NO2+4H2O+热量

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